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Edelstahl-Dichtungs-Flansch des PECVD-Laborrohr-Ofen-304 mit Gas-Lieferung

Edelstahl-Dichtungs-Flansch des PECVD-Laborrohr-Ofen-304 mit Gas-Lieferung

  • Edelstahl-Dichtungs-Flansch des PECVD-Laborrohr-Ofen-304 mit Gas-Lieferung
Edelstahl-Dichtungs-Flansch des PECVD-Laborrohr-Ofen-304 mit Gas-Lieferung
Produktdetails:
Herkunftsort: China
Markenname: Brother Furnace
Zertifizierung: CE
Modellnummer: BR-PECVD
Zahlung und Versand AGB:
Min Bestellmenge: 1 Satz
Preis: Negotiation
Verpackung Informationen: Starke Holzkiste für globales Verschiffen
Lieferzeit: 7-21 Werktage
Zahlungsbedingungen: L / C, T / T, Western Union
Versorgungsmaterial-Fähigkeit: 200 Sätze pro Monat
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Ausführliche Produkt-Beschreibung
Maximale Temperatur: 1200℃ Normales Vakuum: -0.1Mpa
Maximales Vakuum: Molekulare Pumpe der Konfiguration, PA des Vakuum7x10-4 (optional) Flansch: Dichtungsflansch des Edelstahls 304
Übertemperaturschutz: automatisches macht--weg, wenn die Temperatur den zulässigen Sollwert übersteigt Sicherheitsschutz: Automatisch Ausschalten, wenn der Ofenkörper leckt
Ofenstruktur: Doppelschichtstahldoppelventilator, Oberflächentemperatur unter 50℃ MAX-HEIZQUOTE: 20°C /min
Temperaturgenauigkeit: ±1℃ Temperatureinheitlichkeit: ±5℃
Temperaturüberwachung: 50 Segmente programmierbar und Selbststeuerung Ofenrohr: Quarzrohr
Anwendung: PECVD
Markieren:

drehender Rohrofen

,

Quarzrohrofen

Ofen 1200C Max. Lab PECVD Tube mit Gas-Lieferung u. Vakuumpumpe
 
 
Intelligente PECVD-Einleitung:
PECVD-System ist entworfen, um Reaktionstemperatur traditionellen CVD zu verringern. Es installierte Rf-Induktionsausrüstung vor traditionellem CVD, um das Reagieren des Gases zu ionisieren, also wird Plasma erzeugt. Die hohe Tätigkeit des Plasmas ist Reaktion liegt beschleunigtes an der hohen Tätigkeit des Plasmas. So wird dieses System PECVD genannt.
Dieses Modell ist das neueste Produkt, synthetisierte es die Vorteile des meisten Systems des Rohrs PECVD und addierte das Vorheizen von Zone in der Front von PECVD-System. Tests zeigten, dass die Absetzungsgeschwindigkeit schneller ist, Filmqualität ist besser, ist Löcher kleiner und wird nicht knacken. Vollautomatisches intelligentes Kontrollsystem AISO wird unabhängig von unserer Firma entworfen, zu benützen ist bequemer und seine Funktion ist stärker.
Breiter Einsatzbereich: Metallschicht-, keramischer Film, zusammengesetzter Film, ununterbrochenes Wachstum von verschiedenen Filmen. Einfach, Funktion zu erhöhen, kann Plasmareinigungsätzung und andere Funktionen erweitern
 
 
Hauptmerkmal:
 

  • Hohe Filmabsetzungsrate: Die Rf-Glühentechnologie, die Absetzungsrate des Filmes groß erhöhend, die Absetzungsrate kann 10Å/S erreichen
     
  • Hohe Bereichseinheitlichkeit: Moderne Mehrpunkt-Fütterungstechnologie Rfs, spezielle Gaswegverteilung und -Heiztechnologie, etc., machen die Filmeinheitlichkeits-Indexreichweite 8%
     
  • Hohe Übereinstimmung: unter Verwendung des modernen Konzeptes des Entwurfes der Halbleiterindustrie, ist die Abweichung zwischen den Substraten von einer Absetzung kleiner als 2%
     
  • Hohe Prozessstabilität: In hohem Grade stabile Ausrüstung stellt ununterbrochenen und stabilen Prozess sicher

 
 
Standard-Reserven:

  • Verstopfung von PC des Rohrs 4
  • PC des Ofenrohrs 1
  • PC der Vakuumpumpe 1
  • Sätze des Hohlraumversiegelungsflansches 2
  • PC des Vakuummessgeräts 1
  • Gaslieferung u. Vakuumpumpe
  • Rf-Plasmaausrüstung

 
Optionale Reserven:
 

  • Flansch der schnellen Freigabe, Dreiwegeflansch
  • 7 Notengeröll des Zoll HD

 
 
 
Rohr-Ofenstandardspezifikation 1200℃ PECVD:
 

1. Heizsystem
Max.temperature 1200℃ (1 Stunde)
Betriebstemperatur ≤1100℃
Kammergröße Φ100*1650mm (Rohr diamater ist kundengerecht)
Kammermaterial Tonerde-Holzfaserplatte des hohen Reinheitsgrades
Thermoelement K-Art
Temperatureaccuracy ±1℃
Temperaturüberwachung

● 50 programmierbare Segmente zur genauen Steuerung der Heizquote, der abkühlenden Rate und der Verweilzeit.

● errichtet in der PID-Selbst-Melodiefunktion mit Überhitzungsu. gebrochenem Thermoelement gebrochenem Schutz.

Automatisches Kontrollsystem ● PLC durch PC-Prüfer nach innen.

● das Temperaturüberwachungssystem, System schiebend (Zeit und Abstand) könnte durch Programm gesteuert werden.

Heizungslänge 440mm
Konstante Heizungslänge 200mm
Heizelement Widerstanddraht
Stromversorgung Einphasiges, 220V, 50Hz
Nennleistung 9kW
2. Rf-Plasma-Quelle
Rf-Frequenz 13,56 MHz±0.005%
Spitzenleistung 500W
Maximal reflektieren Sie Energie 500W
Rf-Ausgabeschnittstelle 50 Ω, N-artig, weiblich
Energiestabilität ±0.1%
Harmonische Komponente ≤-50dbc
Versorgungsspannung/Frequenz Einphasiges AC220V 50/60HZ
Ganze Leistungsfähigkeit >=70%
Energiefaktor >=90%
Kühlverfahren Druckluft
3. Kontrollsystem mit drei Präzisionsmassenströmungsmessern
Außenmaß 600x600x650mm
Verbindungsstückart Gelenk Swagelok SS
Standardstrecke (N2) 0~100sccm, 0~200sccm oder kundengerechtes
Genauigkeit ±1.5%
Linear ±0.5~1.5%
Wiederholbarkeit ±0.2%
Antwortzeit

Gaseigentum: Sek 1~4;
Elektrisches Eigentum: Sek 10

Druckstrecke 0.1~0.5 MPa
Max.pressure 3MPa
Schnittstelle Φ6,1/4“
Anzeige Anzeige mit 4 Stellen
Umgebende Temperatur Gas des hohen Reinheitsgrades 5~45
Manometer - 0.1~0.15 MPa, 0,01 MPa/Einheit
Absperrventil Φ6
Polieren Sie SS-Rohr Φ6
Grobvakuumsystem eingeschlossen
 

 
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