Herkunftsort: | China |
Markenname: | Brother Furnace |
Zertifizierung: | CE |
Modellnummer: | BR-PECVD |
Min Bestellmenge: | 1 Satz |
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Preis: | Negotiation |
Verpackung Informationen: | Starke Holzkiste für globales Verschiffen |
Lieferzeit: | 7-21 Werktage |
Zahlungsbedingungen: | L / C, T / T, Western Union |
Versorgungsmaterial-Fähigkeit: | 200 Sätze pro Monat |
Maximale Temperatur: | 1200℃ | Normales Vakuum: | -0.1Mpa |
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Maximales Vakuum: | Molekulare Pumpe der Konfiguration, PA des Vakuum7x10-4 (optional) | Flansch: | Dichtungsflansch des Edelstahls 304 |
Übertemperaturschutz: | automatisches macht--weg, wenn die Temperatur den zulässigen Sollwert übersteigt | Sicherheitsschutz: | Automatisch Ausschalten, wenn der Ofenkörper leckt |
Ofenstruktur: | Doppelschichtstahldoppelventilator, Oberflächentemperatur unter 50℃ | MAX-HEIZQUOTE: | 20°C /min |
Temperaturgenauigkeit: | ±1℃ | Temperatureinheitlichkeit: | ±5℃ |
Temperaturüberwachung: | 50 Segmente programmierbar und Selbststeuerung | Ofenrohr: | Quarzrohr |
Anwendung: | Aufgeteilter Rohrofen des Labor PECVD mit Quarzrohr | ||
Markieren: | drehender Rohrofen,Quarzrohrofen |
Standard-Reserven:
Optionale Reserven:
Rohr-Ofenstandardspezifikation des Laborpecvd aufgeteilte:
1. Heizsystem | ||
Max.temperature | 1200℃ (1 Stunde) | |
Betriebstemperatur | ≤1100℃ | |
Kammergröße | Φ100*1650mm (Rohr diamater ist kundengerecht) | |
Kammermaterial | Tonerde-Holzfaserplatte des hohen Reinheitsgrades | |
Thermoelement | K-Art | |
Temperatureaccuracy | ±1℃ | |
Temperaturüberwachung |
● 50 programmierbare Segmente zur genauen Steuerung der Heizquote, der abkühlenden Rate und der Verweilzeit. ● errichtet in der PID-Selbst-Melodiefunktion mit Überhitzungsu. gebrochenem Thermoelement gebrochenem Schutz. Automatisches Kontrollsystem ● PLC durch PC-Prüfer nach innen. ● das Temperaturüberwachungssystem, System schiebend (Zeit und Abstand) könnte durch Programm gesteuert werden. |
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Heizungslänge | 440mm | |
Konstante Heizungslänge | 200mm | |
Heizelement | Widerstanddraht | |
Stromversorgung | Einphasiges, 220V, 50Hz | |
Nennleistung | 9kW | |
2. Rf-Plasma-Quelle | ||
Rf-Frequenz | 13,56 MHz±0.005% | |
Spitzenleistung | 500W | |
Maximal reflektieren Sie Energie | 500W | |
Rf-Ausgabeschnittstelle | 50 Ω, N-artig, weiblich | |
Energiestabilität | ±0.1% | |
Harmonische Komponente | ≤-50dbc | |
Versorgungsspannung/Frequenz | Einphasiges AC220V 50/60HZ | |
Ganze Leistungsfähigkeit | >=70% | |
Energiefaktor | >=90% | |
Kühlverfahren | Druckluft | |
3. Kontrollsystem mit drei Präzisionsmassenströmungsmessern | ||
Außenmaß | 600x600x650mm | |
Verbindungsstückart | Gelenk Swagelok SS | |
Standardstrecke (N2) | 0~100sccm, 0~200sccm oder kundengerechtes | |
Genauigkeit | ±1.5% | |
Linear | ±0.5~1.5% | |
Wiederholbarkeit | ±0.2% | |
Antwortzeit |
Gaseigentum: Sek 1~4; |
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Druckstrecke | 0.1~0.5 MPa | |
Max.pressure | 3MPa | |
Schnittstelle | Φ6,1/4“ | |
Anzeige | Anzeige mit 4 Stellen | |
Umgebende Temperatur | Gas des hohen Reinheitsgrades 5~45 | |
Manometer | - 0.1~0.15 MPa, 0,01 MPa/Einheit | |
Absperrventil | Φ6 | |
Polieren Sie SS-Rohr | Φ6 | |
Grobvakuumsystem eingeschlossen |
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