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Automatischer Laborrohr-Ofen erhöhte chemischen Bedampfen-Ofen

Automatischer Laborrohr-Ofen erhöhte chemischen Bedampfen-Ofen

    • Automatic Lab Tube Furnace Enhanced Chemical Vapor Deposition Furnace
  • Automatic Lab Tube Furnace Enhanced Chemical Vapor Deposition Furnace

    Produktdetails:

    Herkunftsort: China
    Markenname: Brother Furnace
    Zertifizierung: CE
    Modellnummer: BR-PECVD

    Zahlung und Versand AGB:

    Min Bestellmenge: 1 Satz
    Preis: Negotiation
    Verpackung Informationen: Starke Holzkiste für globales Verschiffen
    Lieferzeit: 7-21 Werktage
    Zahlungsbedingungen: L / C, T / T, Western Union
    Versorgungsmaterial-Fähigkeit: 200 Sätze pro Monat
    Kontakt
    Ausführliche Produkt-Beschreibung
    Maximale Temperatur: 1200℃ Normales Vakuum: -0.1Mpa
    Maximales Vakuum: Molekulare Pumpe der Konfiguration, PA des Vakuum7x10-4 (optional) Flansch: Dichtungsflansch des Edelstahls 304
    Übertemperaturschutz: automatisches macht--weg, wenn die Temperatur den zulässigen Sollwert übersteigt Sicherheitsschutz: Automatisch Ausschalten, wenn der Ofenkörper leckt
    Ofenstruktur: Doppelschichtstahldoppelventilator, Oberflächentemperatur unter 50℃ MAX-HEIZQUOTE: 20°C /min
    Temperaturgenauigkeit: ±1℃ Temperatureinheitlichkeit: ±5℃
    Temperaturüberwachung: 50 Segmente programmierbar und Selbststeuerung Ofenrohr: Quarzrohr
    Anwendung: Plasma erhöhte chemischen Bedampfen-Ofen
    Markieren:

    rotating tube furnace

    ,

    quartz tube furnace

    Laborplasma erhöhte chemischen Bedampfen-Ofen bis zu 1200 Grad
     
    Intelligente PECVD-Einleitung:
    PECVD-System ist entworfen, um die Reaktionstemperatur traditionellen CVD zu verringern. Es installierte Rf-Induktionsausrüstung vor traditionellem CVD, um das Reagieren des Gases zu ionisieren, also wird das Plasma erzeugt. Die hohe Tätigkeit des Plasmas ist Reaktion liegt beschleunigtes an der hohen Tätigkeit des Plasmas. So wird dieses System PECVD genannt.
    Dieses Modell ist das neueste Produkt, synthetisierte es die Vorteile der meisten Systeme des Rohrs PECVD und fügte eine vorheizende Zone in der Front des PECVD-Systems hinzu. Tests zeigten, dass die Absetzungsgeschwindigkeit schneller ist, die Filmqualität ist besser, sind Löcher kleiner und werden nicht knacken. Vollautomatisches intelligentes Kontrollsystem AISO wird unabhängig von unserer Firma entworfen, zu benützen ist bequemer und seine Funktion ist stärker.
    Breiter Einsatzbereich: Metallschicht-, keramischer Film, zusammengesetzter Film, das ununterbrochene Wachstum von verschiedenen Filmen. Einfach, Funktion zu erhöhen, kann Plasmareinigungsätzung und andere Funktionen erweitern
     
     
    Hauptmerkmal:

    • Hohe Filmabsetzungsrate: Die Rf-Glühentechnologie, die Absetzungsrate des Filmes groß erhöhend, die Absetzungsrate kann 10Å/S erreichen
       
    • Hohe Bereichseinheitlichkeit: Moderne Mehrpunkt-Fütterungstechnologie Rfs, spezielle Gaswegverteilung und Heiztechnologie, etc., machen die Filmeinheitlichkeits-Indexreichweite 8%
       
    • Hohe Übereinstimmung: unter Verwendung des modernen Konzeptes des Entwurfes der Halbleiterindustrie, ist die Abweichung zwischen den Substraten von einer Absetzung kleiner als 2%
       
    • Hohe Prozessstabilität: In hohem Grade stabile Ausrüstung stellt einen ununterbrochenen und stabilen Prozess sicher

    Automatischer Laborrohr-Ofen erhöhte chemischen Bedampfen-Ofen 0
     
    Standard-Reserven:

    • Verstopfung von PC des Rohrs 4
    • PC des Ofenrohrs 1
    • PC der Vakuumpumpe 1
    • Sätze des Hohlraumversiegelungsflansches 2
    • PC des Vakuummessgeräts 1
    • Gaslieferung u. Vakuumpumpe
    • Rf-Plasmaausrüstung

     
    Optionale Reserven:
     

    • Flansch der schnellen Freigabe, Dreiwegeflansch
    • 7 Notengeröll des Zoll HD

     
     
     
    Plasma erhöhte Standardspezifikation des chemischen Bedampfen-Ofens:

    1. Heizsystem
    Max.temperature1200℃ (1 Stunde)
    Betriebstemperatur≤1100℃
    KammergrößeΦ100*1650mm (Rohr diamater ist kundengerecht)
    KammermaterialTonerde-Holzfaserplatte des hohen Reinheitsgrades
    ThermoelementK-Art
    Temperatureaccuracy±1℃
    Temperaturüberwachung

    ● 50 programmierbare Segmente zur genauen Steuerung der Heizquote, der abkühlenden Rate und der Verweilzeit.

    ● errichtet in der PID-Selbst-Melodiefunktion mit Überhitzungsu. gebrochenem Thermoelement gebrochenem Schutz.

    Automatisches Kontrollsystem ● PLC durch PC-Prüfer nach innen.

    ● das Temperaturüberwachungssystem, System schiebend (Zeit und Abstand) könnte durch Programm gesteuert werden.

    Heizungslänge440mm
    Konstante Heizungslänge200mm
    HeizelementWiderstanddraht
    StromversorgungEinphasiges, 220V, 50Hz
    Nennleistung9kW
    2. Rf-Plasma-Quelle
    Rf-Frequenz13,56 MHz±0.005%
    Spitzenleistung500W
    Maximal reflektieren Sie Energie500W
    Rf-Ausgabeschnittstelle50 Ω, N-artig, weiblich
    Energiestabilität±0.1%
    Harmonische Komponente≤-50dbc
    Versorgungsspannung/FrequenzEinphasiges AC220V 50/60HZ
    Ganze Leistungsfähigkeit>=70%
    Energiefaktor>=90%
    KühlverfahrenDruckluft
    3. Kontrollsystem mit drei Präzisionsmassenströmungsmessern
    Außenmaß600x600x650mm
    VerbindungsstückartGelenk Swagelok SS
    Standardstrecke (N2)0~100sccm, 0~200sccm oder kundengerechtes
    Genauigkeit±1.5%
    Linear±0.5~1.5%
    Wiederholbarkeit±0.2%
    Antwortzeit

    Gaseigentum: Sek 1~4;
    Elektrisches Eigentum: Sek 10

    Druckstrecke0.1~0.5 MPa
    Max.pressure3MPa
    SchnittstelleΦ6,1/4“
    AnzeigeAnzeige mit 4 Stellen
    Umgebende TemperaturGas des hohen Reinheitsgrades 5~45
    Manometer- 0.1~0.15 MPa, 0,01 MPa/Einheit
    AbsperrventilΦ6
    Polieren Sie SS-RohrΦ6
    Grobvakuumsystem eingeschlossen
     

     
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    • Hersteller mit der Erfahrung der Jahre 10+
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    • Geben Sie Entwurf für speziellen Ofen frei
    • Geben Sie technische Unterstützung während der Lebenszeit frei
    • Freies Beispieltest

     
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