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Automatischer Laborrohr-Ofen erhöhte chemischen Bedampfen-Ofen

Automatischer Laborrohr-Ofen erhöhte chemischen Bedampfen-Ofen

Automatic Lab Tube Furnace Enhanced Chemical Vapor Deposition Furnace

Produktdetails:

Herkunftsort: China
Markenname: Brother Furnace
Zertifizierung: CE
Modellnummer: BR-PECVD

Zahlung und Versand AGB:

Min Bestellmenge: 1 Satz
Preis: Negotiation
Verpackung Informationen: Starke Holzkiste für globales Verschiffen
Lieferzeit: 7-21 Werktage
Zahlungsbedingungen: L / C, T / T, Western Union
Versorgungsmaterial-Fähigkeit: 200 Sätze pro Monat
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Ausführliche Produkt-Beschreibung
Max Temperature: 1200℃ Normal vacuum: -0.1MPa
Max Vacuum: Configuration molecular pump, Vacuum 7x10-4 Pa (Optional) Flange: 304 stainless steel sealing flange
Over-temperature protection: automatic power-off when the temperature exceeds the allowable set value Safety protection: Automatically power off when the furnace body leaks
Furnace structure: double layer steel dual cooling fan, surface temperature below 50℃ Max Heating rate: 20°C /min
TEMPERATURE ACCURACY: ±1℃ TEMPERATURE UNIFORMITY: ±5℃
Temperature Control: 50 Segments programmable and auto control Furnace tube: Quartz tube
Application: Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Furnace

Laborplasma erhöhte chemischen Bedampfen-Ofen bis zu 1200 Grad
 
Intelligente PECVD-Einleitung:
PECVD-System ist entworfen, um die Reaktionstemperatur traditionellen CVD zu verringern. Es installierte Rf-Induktionsausrüstung vor traditionellem CVD, um das Reagieren des Gases zu ionisieren, also wird das Plasma erzeugt. Die hohe Tätigkeit des Plasmas ist Reaktion liegt beschleunigtes an der hohen Tätigkeit des Plasmas. So wird dieses System PECVD genannt.
Dieses Modell ist das neueste Produkt, synthetisierte es die Vorteile der meisten Systeme des Rohrs PECVD und fügte eine vorheizende Zone in der Front des PECVD-Systems hinzu. Tests zeigten, dass die Absetzungsgeschwindigkeit schneller ist, die Filmqualität ist besser, sind Löcher kleiner und werden nicht knacken. Vollautomatisches intelligentes Kontrollsystem AISO wird unabhängig von unserer Firma entworfen, zu benützen ist bequemer und seine Funktion ist stärker.
Breiter Einsatzbereich: Metallschicht-, keramischer Film, zusammengesetzter Film, das ununterbrochene Wachstum von verschiedenen Filmen. Einfach, Funktion zu erhöhen, kann Plasmareinigungsätzung und andere Funktionen erweitern
 
 
Hauptmerkmal:

  • Hohe Filmabsetzungsrate: Die Rf-Glühentechnologie, die Absetzungsrate des Filmes groß erhöhend, die Absetzungsrate kann 10Å/S erreichen
     
  • Hohe Bereichseinheitlichkeit: Moderne Mehrpunkt-Fütterungstechnologie Rfs, spezielle Gaswegverteilung und Heiztechnologie, etc., machen die Filmeinheitlichkeits-Indexreichweite 8%
     
  • Hohe Übereinstimmung: unter Verwendung des modernen Konzeptes des Entwurfes der Halbleiterindustrie, ist die Abweichung zwischen den Substraten von einer Absetzung kleiner als 2%
     
  • Hohe Prozessstabilität: In hohem Grade stabile Ausrüstung stellt einen ununterbrochenen und stabilen Prozess sicher

Automatischer Laborrohr-Ofen erhöhte chemischen Bedampfen-Ofen
 
Standard-Reserven:

  • Verstopfung von PC des Rohrs 4
  • PC des Ofenrohrs 1
  • PC der Vakuumpumpe 1
  • Sätze des Hohlraumversiegelungsflansches 2
  • PC des Vakuummessgeräts 1
  • Gaslieferung u. Vakuumpumpe
  • Rf-Plasmaausrüstung

 
Optionale Reserven:
 

  • Flansch der schnellen Freigabe, Dreiwegeflansch
  • 7 Notengeröll des Zoll HD

 
 
 
Plasma erhöhte Standardspezifikation des chemischen Bedampfen-Ofens:

1. Heizsystem
Max.temperature1200℃ (1 Stunde)
Betriebstemperatur≤1100℃
KammergrößeΦ100*1650mm (Rohr diamater ist kundengerecht)
KammermaterialTonerde-Holzfaserplatte des hohen Reinheitsgrades
ThermoelementK-Art
Temperatureaccuracy±1℃
Temperaturüberwachung

● 50 programmierbare Segmente zur genauen Steuerung der Heizquote, der abkühlenden Rate und der Verweilzeit.

● errichtet in der PID-Selbst-Melodiefunktion mit Überhitzungsu. gebrochenem Thermoelement gebrochenem Schutz.

Automatisches Kontrollsystem ● PLC durch PC-Prüfer nach innen.

● das Temperaturüberwachungssystem, System schiebend (Zeit und Abstand) könnte durch Programm gesteuert werden.

Heizungslänge440mm
Konstante Heizungslänge200mm
HeizelementWiderstanddraht
StromversorgungEinphasiges, 220V, 50Hz
Nennleistung9kW
2. Rf-Plasma-Quelle
Rf-Frequenz13,56 MHz±0.005%
Spitzenleistung500W
Maximal reflektieren Sie Energie500W
Rf-Ausgabeschnittstelle50 Ω, N-artig, weiblich
Energiestabilität±0.1%
Harmonische Komponente≤-50dbc
Versorgungsspannung/FrequenzEinphasiges AC220V 50/60HZ
Ganze Leistungsfähigkeit>=70%
Energiefaktor>=90%
KühlverfahrenDruckluft
3. Kontrollsystem mit drei Präzisionsmassenströmungsmessern
Außenmaß600x600x650mm
VerbindungsstückartGelenk Swagelok SS
Standardstrecke (N2)0~100sccm, 0~200sccm oder kundengerechtes
Genauigkeit±1.5%
Linear±0.5~1.5%
Wiederholbarkeit±0.2%
Antwortzeit

Gaseigentum: Sek 1~4;
Elektrisches Eigentum: Sek 10

Druckstrecke0.1~0.5 MPa
Max.pressure3MPa
SchnittstelleΦ6,1/4“
AnzeigeAnzeige mit 4 Stellen
Umgebende TemperaturGas des hohen Reinheitsgrades 5~45
Manometer- 0.1~0.15 MPa, 0,01 MPa/Einheit
AbsperrventilΦ6
Polieren Sie SS-RohrΦ6
Grobvakuumsystem eingeschlossen
 

 
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  • Geben Sie Entwurf für speziellen Ofen frei
  • Geben Sie technische Unterstützung während der Lebenszeit frei
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Größe und Tag:

drehender Rohrofen,

Quarzrohrofen

Kontaktdaten
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