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Stahlrohr-Ofen der hohen Temperatur Laboraufgeteilter des Ofen-PECVD mit Quarz-Rohr

Stahlrohr-Ofen der hohen Temperatur Laboraufgeteilter des Ofen-PECVD mit Quarz-Rohr

Steel High Temperature Laboratory Furnace PECVD Split Tube Furnace With Quartz Tube

Produktdetails:

Herkunftsort: China
Markenname: Brother Furnace
Zertifizierung: CE
Modellnummer: BR-PECVD

Zahlung und Versand AGB:

Min Bestellmenge: 1 Satz
Preis: Negotiation
Verpackung Informationen: Starke Holzkiste für globales Verschiffen
Lieferzeit: 7-21 Werktage
Zahlungsbedingungen: L / C, T / T, Western Union
Versorgungsmaterial-Fähigkeit: 200 Sätze pro Monat
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Ausführliche Produkt-Beschreibung
Max Temperature: 1200℃ Normal vacuum: -0.1MPa
Max Vacuum: Configuration molecular pump, Vacuum 7x10-4 Pa (Optional) Flange: 304 stainless steel sealing flange
Over-temperature protection: automatic power-off when the temperature exceeds the allowable set value Safety protection: Automatically power off when the furnace body leaks
Furnace structure: double layer steel dual cooling fan, surface temperature below 50℃ Max Heating rate: 20°C /min
TEMPERATURE ACCURACY: ±1℃ TEMPERATURE UNIFORMITY: ±5℃
Temperature Control: 50 Segments programmable and auto control Furnace tube: Quartz tube
Application: Lab PECVD split tube furnace with quartz tube

Rohrofen des Labors PECVD der hohen Temperatur aufgeteilter mit Quarzrohr
 
Intelligente PECVD-Einleitung:
PECVD-System ist entworfen, um die Reaktionstemperatur traditionellen CVD zu verringern. Es installierte Rf-Induktionsausrüstung vor traditionellem CVD, um das Reagieren des Gases zu ionisieren, also wird das Plasma erzeugt. Die hohe Tätigkeit des Plasmas ist Reaktion liegt beschleunigtes an der hohen Tätigkeit des Plasmas. So wird dieses System PECVD genannt.
Dieses Modell ist das neueste Produkt, synthetisierte es die Vorteile der meisten Systeme des Rohrs PECVD und fügte eine vorheizende Zone in der Front des PECVD-Systems hinzu. Tests zeigten, dass die Absetzungsgeschwindigkeit schneller ist, die Filmqualität ist besser, sind Löcher kleiner und werden nicht knacken. Vollautomatisches intelligentes Kontrollsystem AISO wird unabhängig von unserer Firma entworfen, zu benützen ist bequemer und seine Funktion ist stärker.
Breiter Einsatzbereich: Metallschicht-, keramischer Film, zusammengesetzter Film, das ununterbrochene Wachstum von verschiedenen Filmen. Einfach, Funktion zu erhöhen, kann Plasmareinigungsätzung und andere Funktionen erweitern
 
 
Hauptmerkmal:

  • Hohe Filmabsetzungsrate: Die Rf-Glühentechnologie, die Absetzungsrate des Filmes groß erhöhend, die Absetzungsrate kann 10Å/S erreichen
     
  • Hohe Bereichseinheitlichkeit: Moderne Mehrpunkt-Fütterungstechnologie Rfs, spezielle Gaswegverteilung und Heiztechnologie, etc., machen die Filmeinheitlichkeits-Indexreichweite 8%
     
  • Hohe Übereinstimmung: unter Verwendung des modernen Konzeptes des Entwurfes der Halbleiterindustrie, ist die Abweichung zwischen den Substraten von einer Absetzung kleiner als 2%
     
  • Hohe Prozessstabilität: In hohem Grade stabile Ausrüstung stellt einen ununterbrochenen und stabilen Prozess sicher

Stahlrohr-Ofen der hohen Temperatur Laboraufgeteilter des Ofen-PECVD mit Quarz-Rohr
 
 
Standard-Reserven:

  • Verstopfung von PC des Rohrs 4
  • PC des Ofenrohrs 1
  • PC der Vakuumpumpe 1
  • Sätze des Hohlraumversiegelungsflansches 2
  • PC des Vakuummessgeräts 1
  • Gaslieferung u. Vakuumpumpe
  • Rf-Plasmaausrüstung

 
Optionale Reserven:
 

  • Flansch der schnellen Freigabe, Dreiwegeflansch
  • 7 Notengeröll des Zoll HD

 
 
 
Rohr-Ofenstandardspezifikation des Laborpecvd aufgeteilte:
 

1. Heizsystem
Max.temperature 1200℃ (1 Stunde)
Betriebstemperatur ≤1100℃
Kammergröße Φ100*1650mm (Rohr diamater ist kundengerecht)
Kammermaterial Tonerde-Holzfaserplatte des hohen Reinheitsgrades
Thermoelement K-Art
Temperatureaccuracy ±1℃
Temperaturüberwachung

● 50 programmierbare Segmente zur genauen Steuerung der Heizquote, der abkühlenden Rate und der Verweilzeit.

● errichtet in der PID-Selbst-Melodiefunktion mit Überhitzungsu. gebrochenem Thermoelement gebrochenem Schutz.

Automatisches Kontrollsystem ● PLC durch PC-Prüfer nach innen.

● das Temperaturüberwachungssystem, System schiebend (Zeit und Abstand) könnte durch Programm gesteuert werden.

Heizungslänge 440mm
Konstante Heizungslänge 200mm
Heizelement Widerstanddraht
Stromversorgung Einphasiges, 220V, 50Hz
Nennleistung 9kW
2. Rf-Plasma-Quelle
Rf-Frequenz 13,56 MHz±0.005%
Spitzenleistung 500W
Maximal reflektieren Sie Energie 500W
Rf-Ausgabeschnittstelle 50 Ω, N-artig, weiblich
Energiestabilität ±0.1%
Harmonische Komponente ≤-50dbc
Versorgungsspannung/Frequenz Einphasiges AC220V 50/60HZ
Ganze Leistungsfähigkeit >=70%
Energiefaktor >=90%
Kühlverfahren Druckluft
3. Kontrollsystem mit drei Präzisionsmassenströmungsmessern
Außenmaß 600x600x650mm
Verbindungsstückart Gelenk Swagelok SS
Standardstrecke (N2) 0~100sccm, 0~200sccm oder kundengerechtes
Genauigkeit ±1.5%
Linear ±0.5~1.5%
Wiederholbarkeit ±0.2%
Antwortzeit

Gaseigentum: Sek 1~4;
Elektrisches Eigentum: Sek 10

Druckstrecke 0.1~0.5 MPa
Max.pressure 3MPa
Schnittstelle Φ6,1/4“
Anzeige Anzeige mit 4 Stellen
Umgebende Temperatur Gas des hohen Reinheitsgrades 5~45
Manometer - 0.1~0.15 MPa, 0,01 MPa/Einheit
Absperrventil Φ6
Polieren Sie SS-Rohr Φ6
Grobvakuumsystem eingeschlossen
 

 
Warum Rohr-Ofen des Bruders aufgeteilter des Laborpecvd?

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  • Geben Sie Entwurf für speziellen Ofen frei
  • Geben Sie technische Unterstützung während der Lebenszeit frei
  • Freies Beispieltest

 
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Größe und Tag:

drehender Rohrofen,

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